专业制造石墨涂层设备及石墨涂层加工

热解石墨

■产品概述:

　　热解石墨是新型炭素材料，是高纯碳氢气体在一定的炉压下，在1800℃～2000℃的石墨基体上经化学气相沉积出的较高结晶取向的热解碳，它具有高密度（2.20g/cm）、高纯度（杂质含量（0.0002％）和热、电、磁、力学性能各向异性。在1800℃左右仍能维持10mmhg的真空度。

■主要应用：

　　石墨加热器

　　导流桶

pbn/pg复合加热器

　　原子吸收管

■主要特点：

ø表面致密，无气孔，易机械加工。

ø纯度高，总杂质含量＜20ppm，气密性好。

ø耐高温,强度随使用温度升高而增加，2750℃时强度达到Zui高値3600℃升华。

ø弹性模量低，导热率高，热膨胀系数小，制品优良好的抗热震性能。

ø化学稳定性好，耐酸、碱、盐及有机试剂，对熔融金属、炉渣和其他腐蚀性介质均不起作用，在大气中400℃以下氧化不明显，800℃时氧化速度明显增加。

ø高温下不放任何气体，在1800℃左右能维持10-7mmhg的真空。

■涂层产品应用：

ø半导体行业中，拉制硅单晶导流筒。

ø半导体行业石墨加热器涂层。

ø晶片退火工艺pbn/pg复合加热器涂层。

ø分析仪器用的原子吸收管热解石墨涂层。

ø电子束蒸发蒸铝坩埚。

■主要参数：